中國晶片不呼吸國外「空氣」活不了？工業氣被壟斷現狀，急需突破

比如高純度的電子級氟化氫能清除半導體行業上多餘的化學物質、完成離子刻蝕、刻蝕細槽等半導體製造環節。並且在晶片製造方面起著至關重要的作用，不僅可以清洗晶圓表面，而且可以切割半導體稱體。

但是電子氣體的生產過程極為複雜，分為分析檢測、合成、提純、充填和混合等多個工藝步驟。

為了滿足下游半導體製造對純度和雜質含量的苛刻要求，提純工藝變得尤為重要，需要根據上游合成氣或原料氣的組成，通過低溫精餾或多級純化來實現。